美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速jing確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

產(chǎn)品特點 ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 高量程比 100:1

● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))

● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體（如介質(zhì)是lv氣CL2 或 二氧化硫SO2，訂貨時，需特殊說明）

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體，并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類：內(nèi)置了130種氣體，請咨詢

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / oC / Atm

預(yù)熱時間：