納米操作機(jī)、納米機(jī)械手、納米操縱機(jī)械臂、納米操縱儀TNI LF-2000

小尺寸：小型化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊

高精度：納米級(jí)微操作

易操作：XYZ直角坐標(biāo)，支持PC/遙感操作

產(chǎn)品簡介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自動(dòng)化納米操作系統(tǒng)，也是能夠在SEM/FIB下提供可重復(fù)定位、低漂移、閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制定位的納米操作系統(tǒng)。

TNI LF-2000 is the most automated SEM-based nanomanipulation system on the market. It is the only system that provides repeatable,drift free,closed-loop nano positioning inside SEM.

產(chǎn)品特性

· 兼容主流電鏡，不影響電鏡功能
· 具有大行程、亞納米分辨率運(yùn)動(dòng)定位性能

· 位移傳感器集成自動(dòng)化和可編程運(yùn)動(dòng)
· SEM真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì)，可快速安裝與拆卸

規(guī)格參數(shù)

系統(tǒng)概況

系統(tǒng)尺寸

127x127x33mm3*

機(jī)械手?jǐn)?shù)量

1-4

操作手（宏動(dòng)）

驅(qū)動(dòng)原理

粘滑驅(qū)動(dòng)

運(yùn)動(dòng)范圍

XY軸：10mm Z軸：5mm

速度

>3mm/s

最小步長

45μm/s

開環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率

0.5nm

閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率

1nm

定位漂移率

。