KT-Z165M4LT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面最可升溫到高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

溫控器

加熱溫度

高溫型 35-400℃ 低溫型 室溫- -50℃

注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。

溫控誤差

±1℃

熱電偶類型

PT100高精度傳感器

溫控表

宇電PID溫控器

程序控溫

1段（可選30段程序控溫表）

加熱功率

≤300W

加熱電源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探針熱臺

腔體材質

304不銹鋼

加工方式

一體式CNC精加工

內腔體尺寸

137X57X21mm 容積165ML

加熱臺尺寸

Φ35mm

觀察窗內徑

Φ45mm

觀察窗材質

高透光石英玻璃

信號輸出頭

SMA母頭 配線 SMA轉BNC 1.5米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V

抽氣口

KF16

進氣口

6MM卡套

使用正壓

≤O.05MPa

使用負壓

機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

可擴展配件

氣體液體注射口

4芯電信號接頭

8芯電信號接頭

SMA905 光纖接口

擴展5KV高壓電極

升級30段控溫儀表

移動探針

探針規格

探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm

上下移動距離

2.5mm

前后移動距離

±10mm

左右旋轉距離

120°

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