高純金靶材，黃金靶材，Au靶材，5N金靶材，蒂姆新材料

金靶材，又稱黃金靶材由高純度金錠熔煉制備而成，適用于濺射鍍膜、SEM噴金鍍膜等，在半導體芯片、MEMS傳感器、光電器件、寬禁帶半導體、石墨烯等行業領域應用廣泛。

1，適用濺射設備品牌

適用設備：單靶濺射系統，雙靶濺射系統，JC500型磁控濺射儀，DE300DL 磁控濺射系統

適用設備品牌：

國產品牌：南光機器廠、北京儀器廠、金盛微納、沈陽科儀、JK-LASKER、微電子所等品牌

進口品牌：美國MRC，CVC、Varian公司等品牌

常規尺寸：貴金屬Au靶材.jpg

1.直徑：1英寸，2英寸，3英寸，4英寸，5英寸等不同直徑

2.厚度：1mm,2mm，3mm，4mm等尺寸可定做

2，適用SEM電鏡噴金設備

適用設備：日立JFC-1100和JFC-1600，ETD-2000C等型號

適用設備品牌：LEICA，日立，中科儀等型號

常規尺寸：57*0.1mm；57*0.2mm；58*0.1mm；58*0.2mm等

3，金靶材回收

金靶材濺射打穿后可提供回收再加工服務，提高靶材利用率、科學環保，節省科研成本。

回收詳細信息參見“貴金屬回收再加工說明”

4，產品詳細價格

貴金屬金材料均以上海黃金交易所價格為基準。

產品名稱規格型號包裝單價交貨期備注

1.1、金屬蒸發鍍膜材料

　　鋁（Al），銦（In），鉛（Pb），鉑（Pt），鎂（Mg），鉬（Mo），錳（Mn），鎳（Ni），鈮（Nb），硅（Si），鉻（Cr），鈷（Co），銅（Cu），鍺（Ge），金（Au），鉿（Hf），銀（Ag），鐵（Fe），錫（Sn），鈦（Ti），鉭（Ta），碲（Te），鎢（W），鋅（Zn），鋯（Zr），鈧（Sc），鑭（La），鋱（Tb），镥（Lu），鏑（Dy），鉺（Er），釹（Nd），鐿（Yb），銪（Eu），釔（Y），釓（Gd），銩（Tm），鐠（Pr）

1.2、氧化物蒸發鍍膜材料

　　氧化鋁（Al2O3），氧化釹（Nd2O3），氧化銻（Sb2O3），五氧化二鈮（Nb2O5），氧化錫摻銻（ATO），氧化鐠（Pr6O11），鈦酸鋇（BaTiO3），鈦酸鐠（Pr（TiO2）2），氧化鉍（Bi2O3），氧化鐠（Pr2O3），二氧化鈰（CeO2），氧化釤（Sm2O3），氧化銅（CuO），氧化鈧（Sc2O3），氧化鉻（Cr2O3），二氧化硅（SiO2），氧化鏑（Dy2O3），一氧化硅（SiO），氧化鉺（Er2O3），鈦酸鍶（SrTiO3），氧化銪（Eu2O3），鋯酸鍶（SrZrO3），氧化釓（Gd2O3），五氧化二鉭（Ta2O5），氧化鎵（Ga2O3），氧化鋱（Tb4O7），氧化鍺（GeO2），氧化碲（TeO2），氧化鉿（HfO2），氧化釷（ThO2），氧化鈥（Ho2O3），氧化銩（Tm2O3），氧化銦（In2O3），二氧化鈦（TiO2），氧化銦錫化合物（ITO），一氧化鈦（TiO），氧化鐵（Fe2O3），五氧化三鈦（Ti3O5），四氧化三鐵（Fe3O4），三氧化二鈦（Ti2O3），氧化鑭（La2O3），氧化錫（SnO2），鋁酸鑭（LaAlO3），一氧化錫（SnO），鈦酸鉛（PbTiO3），三氧化鎢（WO3），鋯酸鉛（PbZrO3），鈮酸鋁（LiNbO3），釔鋁石榴石（YAG）Y3Al5O12，氧化鋰（LiO），三氧化二鐿（Yb2O3），鉭酸鋰（LiTaO3），三氧化二釔（Y2O3），氧化鋅（ZnO），氧化镥（Lu2O3），氧化鋅摻鋁（ZnO：Al），氧化鎂（MgO），二氧化鋯（ZrO2）（未摻雜），二氧化錳（MnO2），氧化鈣穩定二氧化鋯（ZrO2-5-15wt％CaO），鈦酸鎂（MgTiO3），氧化釔穩定二氧化鋯（ZrO2摻雜Y2O3），氧化鉬（MoO3）。

1.3、氟化物蒸發鍍膜材料

　　氟化鋁（AlF3），氟化鐠（PrF3），氟化鋇（BaF3），氟化鎂（MgF2），氟化鉻（CdF2），氟化釹（NdF3），氟化鈣（CaF2），氟化鈰（CeF3），氟化釤（SmF3），氟化鏑（DyF3），氟化鈉（NaF），氟化鉺（ErF3），冰晶石（Na3AlF6），氟化鉿（HfF4），氟化鍶（SrF2），氟化鉀（KF），氟化釷（ThF4），氟化鑭（LaF3），氟化釔（YF3），氟化鉛（PbF2），氟化鐿（YbF3），氟化鋰（LiF）

1.4、其他蒸發鍍膜材料

　　氮化鋁（AlN），鈦酸鎂（MgTiO3），鐵酸鋇（BaFeO3），氮化鈮（NbN），鈦酸鋇（BaTiO3），銻化銦（InSb），鈦酸鉍（BiTiO3），鈦酸鐠（PrTiO3），氮化硼（BN），氮化硅（Si3N4），硫化鎘（CdS），碳化硅（SiC），碲化鎘（CdTe），鈦酸鍶（SrTiO3），鍍鉻鎢條，氮化鉭（TaN），冰晶石（Na3AlF6），碳化鉭（TaC），砷化鎵（GaAs），二硼化鈦（TiB2），氮化鉿（HfN），碳化鈦（TiC），硼化鐵（FeB），氮化鈦（TiN），鋁酸鑭（LaAlO3），碲化鉛（PbTe），碳化鎢（WC），六硼化鑭（LaB6），鐵酸釔（YFe2O3），鉭酸鋰（LiTaO3），YBC，鈦酸鑭（LaTiO3），硒化鋅（ZnSe），鈮酸鋰（LiNbO3），碲化鋅（ZnTe），硫化鉛（PbS），硫化鋅（ZnS）

1.5、混合物鍍膜材料根據客戶的需求進行配制。